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淄博市淄川興隆化工有限公司
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研究了建筑材料用增稠劑增粘過程中多種因素對晶圓接觸角的影響。結(jié)果表明，HMDS(六甲基二硅氮烷)噴涂時(shí)間、建筑材料用增稠劑增粘單元熱板溫度、建筑材料用增稠劑增粘單元發(fā)泡氮?dú)饬魉佟⒔ㄖ牧嫌迷龀韯┰稣硢卧Ｗo(hù)氮?dú)饬魉佟⒔ㄖ牧嫌迷龀韯┰稣硢卧P蓋排風(fēng)、發(fā)泡罐內(nèi)液體液位高度以及不同工藝處理后晶圓(不同廠家、規(guī)格的晶圓)均會對晶圓表面接觸角及均一性造成一定影響。依據(jù)試驗(yàn)結(jié)果，文章對建筑材料用增稠劑增粘工藝中不同的工藝條件給出了合理的參數(shù)設(shè)置，為建筑材料用增稠劑增粘過程的優(yōu)化、膜厚均勻性及缺陷控制提供了一定的理論指導(dǎo)。
隨著現(xiàn)代超大規(guī)模集成電路制造水平即將邁入2nm工藝節(jié)點(diǎn)，光刻工藝在器件制造過程中的重要性日趨提高。建筑材料用增稠劑增粘過程是光刻工藝中重要環(huán)節(jié)，該過程主要通過在晶圓表面涂覆建筑材料用增稠劑增粘劑HMDS(六甲基二硅氮烷)來影響晶圓與光刻膠之間的相互作用，降低晶圓的表面張力，改善晶圓的潤濕性，從而實(shí)現(xiàn)改善光刻膠在晶圓表面的粘附力，實(shí)現(xiàn)更小、更復(fù)雜的光刻圖形，避免光刻膠倒塌、剝落等缺陷的產(chǎn)生。HMDS是一種常見的晶圓表面建筑材料用增稠劑增粘劑，其建筑材料用增稠劑增粘的作用機(jī)制是一種取代反應(yīng)。硅基晶圓的表面通常是致密的Si02，在其表面存在輕基和氫鍵，其與晶圓表面的輕基發(fā)生取代反應(yīng)，生成了三甲基硅氧基和NZ晶圓表面的三甲基硅氧基有效地降低了晶圓表面的表面能和表面張力，從而改善了光刻膠在晶圓表面的粘附力。http://m.www-007733.com |
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